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      沉積態合金組織的形貌及選區電子衍射圖
      
						  
       圖5一13(a)是沉積態合金組織的形貌及選區電子衍射圖。這時，合金的形貌沒有任何特征，相應的衍射圖為一暈環。這表明薄膜的結構為非晶態的，其結構有序的范圍不超過幾個原子間距。但這還不能確定薄膜的結構是完全意義上的非晶態還是所謂的微晶結構.
      

      
						  
						  
						  
						  
						  
						  
						
      
						 




					
      
				
      
				
      
			
      
		
      
	
      

      




      

	
	
		
		
		
		
		
		


		

		
		

	
	



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