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      內(nèi)應(yīng)力的測量方法-X射線衍射法
      
						  
          用X射線衍射法可以測量出薄膜結(jié)構(gòu)的面間距，將測量值與材料的標(biāo)準(zhǔn)面間距相比可以求出薄膜的應(yīng)變，從而求出薄膜的內(nèi)應(yīng)力。為了使衍射峰不過于彌散，薄膜的厚度至少要數(shù)十納米以上。圖退火前后金剛石薄膜的X射線衍射圖。由圖可見，薄膜各晶面在退火前的峰位要大于退火后薄膜對應(yīng)的峰位的角度。根據(jù)測得的角度可用布喇格公式
      

      
						  
						  
						  
						  
						  
						  
						
      
						 




					
      
				
      
				
      
			
      
		
      
	
      

      




      

	
	
		
		
		
		
		
		


		

		
		

	
	



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